Two-Photon Research Inc. | Наджиб Халид | Почему МЛЭ не работает в производстве: калибровка и мет...

Докладчик: Наджиб Халид Компания: Two-Photon Research Inc. Мероприятие: https://www.microledconnect.com/microled2026 Место проведения: Конференц-центр, High Tech Campus, Эйндховен, Нидерланды Организатор: TechBlick Даты проведения: 24-25 сентября 2025 г. Ссылка: MicroLED Connect 2025 Следующее мероприятие: Подробнее здесь https://www.techblick.com/ Краткое содержание: Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ) обеспечивает исключительную чистоту кристаллов, но редко используется в коммерческом производстве из-за проблем с калибровкой. Исторически калибровка установки МЛЭ могла занимать до четырех недель, поскольку сверхвысокий вакуум препятствует прямому измерению температуры пластины, вызывая расхождения до 250°C между нагревателем и фактической пластиной. Для решения этой проблемы был разработан набор инструментов, включая бесконтактный термометр и физическую модель. Использование специально разработанного алгоритма Монте-Карло для отображения кинетики каждого атома на пространственной сетке позволило сократить время моделирования с шести месяцев до пяти дней. Это обеспечивает точное прогнозирование потоков атомов (галлия, азота, индия) и локальных температур, необходимых для получения бездефектных кристаллов, что позволяет избежать недель эмпирических проб и ошибок и открывает путь к высокопроизводительному, коммерчески жизнеспособному производству методом молекулярно-пучковой эпитаксии (МБЭ). Полное резюме: Текст не предоставлен. Ключевые слова: #Молекулярно-пучковаяЭпитаксия, #КинетическийМонтеКарло, #ТермическаяКалибровка, #БесконтактнаяПирометрия, #ПроизводствоПолупроводников, #ШирокозонныеПолупроводники