Количественная оценка методом РФЭС с использованием различных энергий пропускания

Характеристики рентгеновского фотоэлектронного спектрометра с точки зрения энергетического разрешения и чувствительности зависят от системы коллимационных линз и энергии пропускания полусферического анализатора (HSA). Существует компромисс между энергетическим разрешением и чувствительностью, поэтому для спектров, для которых в пределах пиков фотоэлектронов содержится мало информации о химическом состоянии, высокая энергия пропускания позволяет быстро получать спектры с достаточным отношением сигнал/шум для элементной количественной оценки. Однако, когда химическое состояние приводит к сдвигу энергии связи фотоэлектронов, испускаемых с определенного остовного уровня, или наблюдается перекрытие сигналов от фотоэлектронов разных элементов, предпочтительным режимом получения данных являются более низкие энергии пропускания, ограничивающие скорость счета. Узкое сканирование по энергии обычно используется для нацеливания спектров на определенные остовные уровни, но использование низкой энергии пропускания неизбежно увеличивает время получения данных, необходимое для достижения желаемого отношения сигнал/шум для содержательной обработки данных. В идеале, количественная оценка образца предполагает использование высокой энергии пропускания при получении основной части сигнала и использование низкой энергии пропускания только при необходимости. Проблема, которую необходимо решить для проведения количественного анализа при смешанных энергиях пропускания, заключается в учёте различий в характеристиках рентгеновского фотоэлектронного спектрометра (XPS) при разных энергиях пропускания одной и той же моды линзы и разной кинетической энергии фотоэлектронов. Это видео демонстрирует, как можно провести количественный анализ образца, используя разные энергии пропускания.